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烘箱，精密烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預(yù)處理烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

熱板，高精度加熱平臺采用鋁板作為工作表面,其內(nèi)置不銹鋼加熱棒,導(dǎo)熱性能好,升溫快，采用PID調(diào)節(jié)儀控溫，可以精確控制平臺的加熱溫度.適用于半導(dǎo)體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。

MES智能型高溫烤箱，工業(yè)4.0無氧化烤箱用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，形成高溫、低氧（無氧）、潔凈環(huán)境，特別適合半導(dǎo)體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求。MES系統(tǒng)與ERP系統(tǒng)、WMS系統(tǒng)集成，獲取人員、訂單、計劃、物料等信息，實現(xiàn)計劃管理、生產(chǎn)調(diào)度，通過與SCADA系統(tǒng)集成獲取生

無塵烘箱，MES百級烘箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中的堅膜工藝，也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

精密熱風(fēng)烘箱供應(yīng)干燥箱箱體由角鋼、薄鋼板制成。外殼與工作室間填充玻璃纖維保溫。加熱系統(tǒng)裝置在工作室的頂部。裝有鼓風(fēng)的本型烘干箱能有效的避免工作室內(nèi)存在的梯度溫差及溫度過沖現(xiàn)象，且能提高工作室內(nèi)的溫度均勻性。